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電子級氫氟酸應用于集成電路和超大規(guī)模集成電路芯片的清洗和腐蝕,是微電子行業(yè)制作過程中的關鍵性基礎化工材料之一。根據(jù)用途的不同,電子級氫氟酸主要分為EL、UP、UPS、UPSS等級別,其中UPSS級別是目前最高純度級別。
本公司提供的電子級氟化氫工藝包,通過連續(xù)化的氟氮氧化反應器,高效率氟化氫脫金屬離子精制系統(tǒng),一次制備UPSS級別電子級氟化氫。
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